西安奕斯伟材料科技股份有限公司一项名为“一种抛光垫的表面监测装置及方法”的专利已于2025年2月28日公开，申请公布号为cn119526256a。
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该专利公开了一种用于实时监测抛光垫表面状态的装置及方法。该装置包含图像采集机构和控制器，图像采集机构通过支撑组件固定在抛光头上，用于在化学机械抛光(CMP)过程中实时获取抛光垫表面图像。控制器接收这些图像，并运用图像识别技术分析图像，从而判断抛光垫的表面状况。
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2025-04-03
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